中古 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9314751 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8は、さまざまなクリティカルなリソグラフィー処理に使用される高度なフォトレジスト装置です。半導体およびマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に不可欠な、フォトレジスト層の正確で反復可能で一貫した開発をサポートする機能の組み合わせを提供します。TEL PHPオーブンfor ACT 8は、高度な真空技術を駆使し、ラインのエッジとライン幅の制御に優れた高解像度を実現しています。さらに、システムには最適化されたジオメトリがあり、優れたプロセス性能を実現します。PHPオーブンはまた、均一性と再現性を高め、急速な熱伝達を提供する新しいエネルギー伝達ユニットを備えています。さらに、このオーブンエネルギーは、プロセスの再現性と再現性を確保し、必要な高性能を提供するために正確に監視および制御されています。さらに、TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8には、幅広いモジュラープロセスオプションが含まれています。これらは、現代のフォトレジストプロセスの特定の平面化、リソグラフィ、および露出後のベーキングのニーズに対応するように設計されています。例えば、プログラム可能なフローティングホットプレートとマルチゾーンオプションは、特殊なプロセスで使用できます。PHPオーブンは、優れた解像度、ラインエッジの均一性、および反復可能なパーティクルフリーの結果を持つフォトレジスト層の開発を可能にします。さらに、統合後処理が必要な場合、PHPオーブンは重要なクリーンプロセスのための統合された灰オーブンと組み合わせることができます。要約すると、PHP Oven for ACT 8は、高性能で最適なプロセス再現性を確保するために、いくつかの機能を組み合わせた高度なフォトレジストマシンです。優れたフォトレジスト層の生産を迅速かつ信頼性の高い方法で容易にすると同時に、専門的なプロセスのための統合されたモジュールオプションを提供します。そのため、重要なリソグラフィや平面化プロセスには理想的な選択肢です。