中古 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9276948 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8は、最適なフォトレジストのプロファイリングに必要な温度を正確に制御する高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、超精密で一貫した熱伝達を提供し、基板内のフォトレジスト粒子が膨張して脱落する原因となる高温を排除します。これは、オーブンのデュアルウォール熱分解コーティング石英チャンバーとそれぞれの加熱ユニットによって実現されます。この機械はフォトレジストが保持されている上部の石英チャンバーで構成されており、下部の石英チャンバーには独自のサブフロア加熱ツールが含まれています。2つの個々のチャンバーは、ガス充填シールを介して結合され、気密加熱環境を形成します。サブフロアの暖房資産は、中央の発熱体を介して石英室に熱を輸送します。プロセス温度をリアルタイムで測定するために超速応答熱電対が設置されているため、迅速な反応時間と正確な熱制御が可能です。ACT 8用TEL PHPオーブンは、独自の強制空気対流アルゴリズムによって正確に制御される50〜300°Cの温度範囲を提供します。このアルゴリズムは、石英チャンバー内の温度変化の速度を監視し、必要に応じて空気の流れを使用して運動を統合します。これにより、石英チャンバー内の温度が必要なレベルに素早く到達するだけでなく、優れた精度と一貫性で温度を維持することができます。オーブンには、レーザーに焦点を当て、個別に制御可能な一連のヒートポインティングシステムも含まれています。それぞれのヒートポイントを使用して、基板全体の熱分布を分離または増加させることができます。このモデルは、石英チャンバー内の化学プロセスの前に基底温度を作成するために使用することもできます。さらに、装置独自のセルフモニタリング技術により、人員と機器の両方の安全性を確保します。これは、温度過負荷を検出し、加熱電源をシャットオフすることによって応答することによってこれを行います。TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8は、超精密温度制御と強制空気対流機構により、高い精度と信頼性を提供します。これにより、システムで行われるフォトレジストプロセスが可能な限り最高の品質の結果をもたらすことが保証されます。