中古 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9275822 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8は、半導体製造用のフォトレジスト、液晶パネル用FAです。TEL-B-Tech PPS技術を使用して、精密で安定した加熱を提供し、敏感な電子機器に最適な結果を得ることができます。LCDパネルデバイスを製造するフォトリソグラフィープロセスで使用されるリン酸塩（POCL3）型レジスト層は、一貫した品質を確保するためにPHPオーブンで加熱されます。PHPオーブンは、短いチャンバーと加熱ゾーン、排気ゾーン、拡散ゾーン、排気チャンバーで構成されています。POCL3レジスト層の安定性を維持するために、効率的に酸素量を2ppm以下に削減するように設計されています。暖房の地帯は20-200°C、熱の15の別のチャネルの範囲内でシステムの温度を保つためにペルティエの要素が装備されています。拡散地帯はまた0-200°Cの範囲内でオーブンの温度を保つためにペルティエの要素が装備されています。また、排気室には除染ユニットがあり、環境へのPOCL3を防ぎます。PHPオーブンはまた、オーブン室から基板への熱伝導を増加させる高出力PIR赤外線ランプを備えており、より良い結果をもたらします。また、静電フィルターを使用して排気帯からの微塵を低減します。さらに、制御装置には真空制御と温度制御が装備されています。ACT 8用TEL PHPオーブンは、LCDパネルデバイスを製造するための高感度エレクトロニクスの生産に安定した条件を提供する信頼性の高い効率的な方法です。このツールは、エラーとリスクを最小限に抑えて、迅速かつ予測可能な結果を提供するように設計されています。