中古 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9275723 を販売中

TEL Act 8 PHPオーブンは、フォトレジスト加工用に設計されたサーマルアニール装置です。ホットプレートと照射源の組み合わせを使用して、フォトレジストフィルムを正確に加熱して硬化させます。Act 8 PHPのホットプレートの温度範囲は200〜400°Cで、± 0。2〜1。0°Cの精度で制御できます。ホットプレートは、水冷ジャケットを使用して温度上昇を低減し、一貫した温度を維持する内蔵の冷却システムを使用して冷却されます。オーブンの照射源は、375Wの力を持つタングステンハロゲンランプです。310〜410nmの範囲で長波紫外線を照射することができます。コンパクトなデザインで、1〜9mmの範囲でフォトレジストフィルムを照射することができます。Act 8 PHPオーブンは、短時間で効果的にフォトレジストフィルムを硬化させることができます。素早い温度上昇設定が可能で、過度の温度変動によりフォトレジスト膜を圧迫することなく、望ましい温度に素早く到達できます。オーブンにはスマートパイロット機能もあり、異なるフィルム形状のスムーズでローカルなアニールを可能にします。照射源に正確なタイミングユニットを備えており、保護光照射時間を超えないようにあらかじめ設定されている場合があります。Act 8 PHPオーブンは、フォトレジスト加工に適した高度なサーマルアニーリングマシンです。その内蔵技術は、正確な温度制御と均等に分散照射を保証し、フォトレジストフィルムの処理に最適な条件を提供します。また、過剰な温度変動によるフォトレジスト膜の損傷を防ぎながら、所望の温度に急速に到達することができます。