中古 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9273728 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8は、半導体デバイス製造のフォトリソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。この汎用性の高いツールは、正と負の両方のフォトレジストの開発のための安全な環境を提供するように設計されています。このシステムは、デュアルトランスポートメカニズム、高度な加熱および冷却システム、および統合ロボットアームを備えたチャンバーで構成されています。また、必要に応じてマスクやオブジェクトサーフェスの修復を可能にするように設計されています。オーブンのデュアルトランスポート機構により、ウェーハおよびその他のオブジェクトの両方を同じ基板上にロードおよびアンロードすることができます。これにより、異なるフォトレジストと基板の切り替えを迅速かつ効率的に処理できます。さらにプロセスを合理化するために、調整可能な機械的パラメータも装備されています。ユニットの温度制御は、高温と低温の両方を維持できる高度なPIDベースの温度コントローラを使用して行われます。これにより、フォトレジスト層が適切に硬化して開発されます。さらに、オーブンは安全に余分な熱を取り除き、すぐに所望のレベルに温度を戻す高度な冷却機を備えています。ロボットアームは、チャンバーとの間の移動時に、物体の正確で安全な位置決めを保証するように設計されています。これにより、高い精度を実現し、ダメージを最小限に抑えてオブジェクトの処理を最適な方法で行うことができます。機械の長期的な安定性と安全性は、独自の処理プログラム、内蔵の診断機能、メンテナンスデータロギング、および統合安全監視ツールの使用によって強化されています。これらのすべては、資産がスムーズに実行され、生産に影響を与える前に問題を迅速に特定して対処できることを保証します。TEL PHP Oven for ACT 8は、半導体デバイス製造において非常に貴重なツールです。その高度な機能、堅牢な設計、および精密機能により、フォトレジスト層の信頼性と効率的な処理が保証されます。