中古 TEL / TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954 #293658856 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954は、パターンを基板に正確にマスキングまたは再現できるフォトレジスト機器です。高精度のイメージング、解像度、スループットの点で優れた性能を提供します。このシステムには、電子ビーム発生器、レーザー光源、プロセスチャンバーの3つの主要なコンポーネントが含まれています。電子ビーム発生器は、ビーム経路に沿って対物レンズによって集中し、指示されるビームを生成します。レーザー光源は、パターン書き込みに使用されるレーザー光を生成します。プロセスチャンバーには、プロセスチャンバーをきれいにし、真空をきつく保つ環境制御ユニットが含まれています。TEL PDS-BX02E0954には非常に効率的なイメージングマシンがあり、Jタイプのレンズを使用してプロセス効率を高めています。基板全体に電子ビームを均一に撮像することで、高分解能パターンを実現します。また、東京エレクトロンPDS-BX02E0954は、最大500万メガピクセル/秒の処理が可能な特別設計のコンピューター制御ユニットを採用しています。これにより、パターン書き込み速度と精度が大幅に向上します。PDS-BX02E0954はHi-Kおよび銅の相互接続の適用にとって理想的で、通信および記憶生産で首尾よく使用されました。パターンダウンスケーリング、輪郭補正、パターン圧縮、イメージパターン最適化、コンタクトホール充填など、幅広い機能を備えています。さらに、このツールは、ダブルパターニングや電子ビーム直接書き込みなどの最新のリソグラフィ設計による操作をサポートします。また、パターニングプロセスの再現可能な結果と精度を確保するための革新的な温度制御モデルも備えています。この装置は、各露出を最適化するために、プロセスパラメータを積極的に調整します。また、消費電力を最小限に抑え、大規模生産には経済的な選択肢となっています。TEL/TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954は、複雑で詳細な回路構造を作成するための優れた精度と高度な技術を提供します。最先端のデバイスの生産に費用対効果の高いソリューションを提供し、大量生産に最適です。