中古 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #9302388 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus S300は、半導体基板に高品質のフォトレジストパターンを生成するために設計された精密リソグラフィ装置です。これは、速度と精度の複雑なマイクロエレクトロニクスデバイスを作成する効率的な方法を提供します。TEL Stratus S300には、マルチビームリソグラフィーヘッドと4点高解像度ステッピングモータ、およびオプションのマルチホール露光機能を備えた高精度の基板ステージが含まれています。このシステムは、KrFエキシマレーザービームを使用して0。18ミクロン分解能を提供し、露光波長は248nmに設定されています。独自のセルフアライメント機能により、すべての露出操作が正しく調整されます。このユニットは、高精度で高速な製品スループットを保証するために、多層スキャン機構を使用しています。最大8インチまでの基板を収容でき、最大基板厚は0。6mmです。マシンは、1。2mm正方形の領域のための2。4秒/ショットの超高速露光速度を提供します。また、カセットローダーから正しい向きと位置に基板を供給する高性能ウエハハンドラも含まれています。NEXX Stratus S300は、高精度なパターン生成と、パターンの均一性、画像解像度、高スループット率を両立しています。また、露光条件と機械性能をリアルタイムで最適化する高度なプロセス制御ツールも提供します。このアセットは、基板の不均一性を低減し、露出パラメータを最適化し、環境への影響を最小限に抑え、優れたイメージング品質と再現性のある結果を延長します。TOKYO ELECTRON Stratus S300は、高品質なフォトレジストパターンを最小限に抑えた、革新的で高精度なフォトレジストモデルです。その高度な機能は、速度と精度の複雑なマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための理想的なツールです。