中古 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #9256281 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus S300は、半導体デバイス製造におけるフォトリソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、イメージング用の光や化学物質にウェーハを露出させるように設計されており、ウェーハの表面に洗練された複雑なパターンを生成することができます。TEL Stratus S300は、強力なレーザースキャンユニットを使用してウェーハに光を照射し、高精度な機能を生成します。このS300は、アルゴンフッ化物エキシマーと紫外線光源の両方にウェーハを露出させることができます。これにより、負と正の両方のパターンを同時に露出してウェーハに転送することができます。この技術は、フォトリソグラフィープロセスのより高い精度と詳細を可能にします。このS300は、0。1マイクロメーターのような小さな機能を生成する可能性がある洗練されたスキャンツールを使用しています。このアセットにより、ディープトレンチ機能のパターニング、シグナルルーティング用のコンタクトの形成、高度なプロセスノードに不可欠な超微細パターンの生成など、高精度のフォトリソグラフィープロセスが可能になります。S300はまた、包括的な高度な露出制御モデルを備えています。この装置は、システムの露出パラメータを常に監視および調整するセンサーとレンズの配列で構成され、最高の機能分解能が常に達成されるようにします。ステージレベルの薄膜測定など、高度な計測オプションも用意されており、洗練されたパターンや機能の生産をさらに可能にします。全体として、NEXXストラタスS300フォトレジストユニットは、半導体ウェーハ表面に高品質なパターンや特徴を作り出すことができる先進的な技術です。パワフルなレーザースキャニングマシンと高度な露光制御および計測機能を備えた東京エレクトロンストラタスS300は、フォトリソグラフィープロセスに信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。