中古 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #293748593 を販売中

NEXX SYSTEMS Stratus S300は、PCRやその他の研究および製造プロセスのための信頼性と費用対効果の高いツールとして機能するフォトリソグラフィ機器です。このシステムは、紫外線から近赤外線まで幅広い波長で動作し、SiC、 SiO2、 SiN、フォトレジストなど様々な材料の露光や加工に必要なエネルギーを低減します。それは適用と正確な直線および動きを提供する大きい、均一な視野および精密段階を特色にします。S300ユニットは、優れた画像生成、解像度、再現性を提供する独自のビームスキャン技術を内蔵しています。このマシンはまた、リアルタイムのプロジェクトのフィードバックと位置制御を使用して、アライメントと露出の精度を確保します。可変NA、または0。7と高い数値開口を持つその効果的なグレードの光学系は、短期間で露光時間を維持しながら、優れた光強度と均一性を提供します。Stratus S300には、高精度の自動フォーカシング、露光強度および線量制御、およびステージオートメーション機能が含まれています。これらの機能により、キャビティ、パターン位置、フィルム、深度分解能、ライン幅制御など、さまざまなアプリケーションで最も正確な結果を得ることができます。NEXX SYSTEMS Stratus S300は、優れたUVソース安定性に加えて、再現可能な機能再現と温度変化に対する低速反応により、比類のないプロセス性能を提供します。このツールには、デュアルレーザーブラインドやフレームロックアウトなどの統合された安全機能も付属しているため、ラボでの使用に最適です。さらに、省エネの暗室設計により、エネルギー消費を最小限に抑えています。Stratus S300は、さまざまなソフトウェアソリューションと互換性があり、幅広いアプリケーションに対応するように構成できます。NEXX SYSTEMS Stratus S300は、PCRやその他の研究や製造プロセスなどの様々な用途に適した信頼性の高い均一で費用対効果の高いフォトリソグラフィを提供します。リアルタイムフィードバックと光学技術により、露光時間を短くしながら、優れた解像度と再現性を提供します。その統合された安全機能と暗室設計は、実験室の使用に理想的に適しています。