中古 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #293723899 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus 300は、パターンを半導体デバイスにエッチングする際の効率と精度を最大限に高めるために設計された高性能フォトレジスト装置です。このシステムには、プロセス中に高い精度を維持するための最先端の技術が装備されています。エッチングプロセスの常にアライメントと精度を監視するスキャナーや、電子グレーティングとアライメント性能を一体化したモータライゼーションを備えたスピナーなど、最適な機能を発揮するコンポーネントがいくつかあります。さらに、3軸モーションコントロールマシンを搭載し、X軸、Y軸、Z軸のエッチング工程を精密に微調整できます。TEL Stratus 300は、クリーンなプロセス環境を維持するために設計されたフィルターユニットも備えています。フィルターユニットには、超微細な吸塵フィルターと真空ギヤ搭載ドライブが装備されており、汚染のないクリーンな環境のために最大限の粒子除去を保証します。さらに、NEXX Stratus 300はフォトレジストアプリケーションを究極的に制御するために設計されています。このツールには、最適なコーティングのための調整可能なパラメータを備えた正確なフォトレジスト分配アセットが含まれています。さらに、モデルは一定の膜厚と速度制御で設計されているため、プロセスが均一で結果が一貫しています。最後に、TOKYO ELECTRON Stratus 300には、露出とプロセスが正確かつ一貫して追従することを保証する高度なポスト露出ベーキング装置も含まれています。このシステムは、高品質のフォトレジストフィルムを製造するために非常に信頼性が高く、半導体フォトリソグラフィープロセスに最適なユニットです。