中古 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus 200 #9187451 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus 200 Equipmentは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造など、さまざまな産業用途で使用されている高性能フォトレジストシステムです。TEL Stratus 200ユニットは、真空ウェーハローダ、基板搬送ロボット、真空ウェーハハンドラ、リソグラフィーツール、各種周辺部品で構成されています。真空ウェーハローダーは、基板を輸送し、均一な圧力環境で維持するために使用され、厳しい仕様を満たしています。このデバイスはステッピングモーターで動作し、最大50個の8インチウェーハを保持するようにプログラムすることができます。基板搬送ロボットは、ローダーから基板を拾い上げ、リソグラフィーツールに搬送するために使用されます。このロボットは6度の自由度を持ち、ブラシレスDCモーターマシンにより高精度で信頼性があります。ステンレス製で軽量かつ頑丈なデザインです。真空ウェーハハンドラは、均一な圧力環境で最大300個の8インチウェーハを保持するために使用される真空デバイスです。このデバイスはアルミニウムで構成されており、独自の測定ツールを使用して基板を正確かつ一貫して測定します。リソグラフィーツールは、NEXX Stratus 200 Assetの主要コンポーネントです。このツールは、ナノ精度のために設計されており、非常に正確で安定した光学モデルを備えています。高度なイメージングシステムと高度なソフトウェアを使用して、さまざまなアプリケーションに最高のパフォーマンスを提供します。さらに、高度なマスクアライメントと制御可能で自動露出技術を備えています。Stratus 200 Equipmentは、さまざまな業界の精密要求に対応できる信頼性の高いシステムです。その洗練されたコンポーネント、優れた構造、高度なイメージングとソフトウェアの組み合わせは、フォトレジスト処理のためのトップソリューションの1つになります。