中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark #9363451 を販売中

TEL Markisは、最高精度のリソグラフィ性能を提供するために設計された「フォトレジスト」装置です。薄膜材料の加工時に可能な限り高い精度と柔軟性をユーザーに提供するように設計されています。このシステムは東京エレクトロンが開発したもので、半導体製造関連のリソグラフィ作業用に設計されています。このフォトレジストユニットは、光を利用して薄膜材料を処理する特殊な技術を利用しています。その高度なイメージングオプティクスは、レーザーリソグラフィ用に特別に開発され、サブミクロンのイメージング性能は今日利用可能な最高級の1つです。これは、プロセスの寸法精度が必要なレベル内で維持されることを保証するのに役立ちます。また、機械が利用する光源は高品質であり、レーザーの出力電力も高精度です。TEL/TOKYO ELECTRON Markalsoは、さまざまな薄膜層材料に最適なライティング条件を提供する独自の機能を備えています。高度なオートフォーカスツールにより、リソグラフィー光学系を完全に整列させることができ、複雑なパターンでも明瞭に再現できます。その汎用性の高いステージアセットにより、基板とツールの整列が容易になります。一方、ステージピンポインティングモジュールは、薄膜の小さな部分を整列するときに優れた性能を保証します。TEL MarkalsoにはJobControl Moduleがあり、ユーザーは簡単に操作を設定し、必要なパラメータを選択し、さまざまなリソグラフィ関連タスクを実行できます。生産性の向上、スループットの向上、信頼性の高いプロセスを提供します。これに加えて、ジョブエディタやパターン検索などの強力なソフトウェアツールがあり、リソグラフィープロジェクトをシームレスに作成および制御するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON Markisは、精度と柔軟性に優れた薄膜材料の忠実度リソグラフィを可能にする高度なフォトレジストモデルです。高度な光学系と安定したレーザー光源、優れたオートフォーカス機器、簡単なソフトウェアツールにより、高品質で正確なフォトレジスト層を迅速に生成するために必要な性能と使いやすさをユーザーに提供します。