中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9399374 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、フォトレジストイメージングプロセスの精度と速度を向上させるために設計された新しいフォトレジスト機器です。フォトレジストは、パターンを基板に移すために使用される有機または無機材料です。TEL MARK-VZシステムは、マスクレスリソグラフィー（MLL）ユニットと高解像度投影光学ユニットで構成されています。MLLユニットは、このユニットで使用される主要な機器であり、光学リピートまたはシングルショット投影ジオメトリを使用して、基板にパターンを正確に投影することができます。東京エレクトロンマークV-Zフォトレジストマシンのプロジェクションオプティクスユニットは、小型ビーム投影を管理するために高度なデジタルマイクロミラー装置（DMD）を使用しています。このDMDは、小さなマルチアングルミラーを使用して、基板上のパターン位置ごとに露出レベルと焦点距離を正確に調整します。この調整プロセスにより、高解像度のイメージングと正確な露出制御が保証されます。投影光学ユニットのマルチアングルミラーは、可視光のスペクトル全体を投影するだけでなく、紫外線や赤外線を投影することができます。MARK V-ZフォトレジストツールのMLLユニットには、フィールドエミッションディスプレイ（FED）プロジェクションスクリーンも備えています。この画面は、様々なサイズのパターンを正確に配置し、サイズを使用することができます。FED投影スクリーンも非常に明るく、フォトリソグラフィの用途に適しています。さらに、このMLLユニットは、化学的に増幅されたレジスト、化学的に活性化されたレジスト、および熱抵抗など、さまざまなイメージングプロセスに使用できます。MLLやプロジェクション光学機器に加えて、TEL MARK Vzフォトレジストアセットは、イメージングプロセスを容易にするさまざまな機能を備えています。たとえば、このモデルはパターンデータベースに最大35パターンのレシピを保存できます。これにより、ユーザーはすぐに画像処理を読み込み、すばやく開始できます。この装置はまた、基板表面にパターンが正確に投影されるようにするための自動光学アライメントプロセスを備えています。さらに、ユーザーが必要とする露出時間とレベルを簡単に設定できるように、パターン露出を自動的に調整することができます。全体的に、TEL MARK V-Zフォトレジストユニットは、信頼性が高く、正確で迅速なフォトレジストイメージングマシンを提供します。MLLと投影光学ユニットは、異なる基板にパターンを正確に投影することができますが、自動光学アライメントと露光プロセスにより、フォトレジストプロセスのセットアップと実行が容易になります。さらに、ユーザーはイメージングプロセス用に最大35種類のパターンを保存することができます。このツールは、低および高ボリュームの両方のプロジェクトに最適です。