中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9273847 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、精密フォトレジスト機器です。フォトリソグラフィープロセスとして、集積回路（IC）の製造に使用されます。フォトレジスト（Photoresist）とは、IC製造時に基板に印加される光感受性材料で、レチクルと呼ばれるパターン化された光源にさらされます。基板への材料層の精密なエッチングと成膜が可能です。ユニットは、光学ステッパー、スクリバー、マスクアライナー、プラズマエッチャーなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。光学ステッパーを使用して、フォトレジスト層をレチクルに正確に露出させます。スクライバーは、エッチング処理の前後に基板を切断して形作るために使用されます。マスクアライナーは、適切なアライメントを確保し、フォトリソグラフィックパターンの変動を低減するために使用されます。最後に、プラズマエッチャーを使用して、フィルムパターンを適切な深さと速度でフォトレジスト層にエッチングします。TEL MARK-VZには、フォトレジストプロセスを最適化するために使用できるいくつかの機能があります。このマシン独自のレーザーマイクロエッチング技術により、サイクルタイムの短縮、スループットの向上、IC製造の収率の向上を実現しました。さらに、このツールのアダプティブレンズ技術により、細部に至るまで様々なレチクルパターンやフィーチャーサイズに素早く調整することができます。東京エレクトロンマークV-Zは、信頼性の向上と効率的な運用を支援するさまざまな機能を提供します。これらには、自動温度制御だけでなく、エッチングプロセスを制御するための圧力レギュレータも含まれます。また、TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Zには、ユーザーインターフェイスとソフトウェアパッケージが付属しており、セットアップと評価プロセスをユーザーに案内します。結論として、TEL MARK V-Zは、IC製造に使用される信頼性の高い強力なフォトレジスト資産です。その高度なフォトリソグラフィ機能により、サイクルタイムの短縮、スループットの向上、収率の向上を実現します。その運用機能とユーザーインターフェイスは、信頼性の高い操作と使いやすさを保証します。これらの機能を備えたMARK V-Zは、IC製造やその他のフォトリソグラフィープロセスに最適です。