中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9257602 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、紫外線を照射して基板表面をパターン化するフォトレジスト機器です。TEL MARK-VZには、サーフェスをパターン化する際に正確で柔軟性と使いやすさを実現する機能があります。他のフォトレジストシステムとは一線を画す東京エレクトロンマークV-Zの特徴の一つは、2つのラスターを同時にパターン化（PTRS）することです。この技術により、露出精度を維持しながら、同じ基板上に連続して2パターンをキャストし、基板上で優れた画質を生み出すことができます。TOKYO ELECTRON MARK Vzは、高解像度のレーザー光源を内蔵し、広範囲の紫外線を照射して正確なパターニングを実現しています。このシステムは、350nmから400nmまでの幅広い露光波長を提供し、高精度のオプトエレクトロニクス測位ユニットを搭載し、正確なターゲットと位置パターンを提供します。これにより、複数の基板をパターン化する際にパターンがドリフトまたはシフトしないことが保証されます。レーザー光源に加え、顕微鏡タイプの画像投影機を搭載し、露光前後のパターンの詳細な光学検査を行うことができます。これにより、パターニングプロセスの欠陥を簡単に特定できます。MARK V-Zはまた、パターニングプロセス中に紫外線や化学物質からの保護をユーザーに提供する保護カバーハウスツールなどの高度な安全機能を提供しています。最後に、このアセットには簡単にアクセスできるメンテナンスコンポーネントが含まれており、ユーザーは定期的なメンテナンスチェックを実行できます。これには、最適な機器性能を妨げる可能性のある破片や閉塞をクリアできる自動洗浄モデルが含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Zは、マイクロリソグラフィ、マスク製造、フォトポリマー印刷など幅広い用途に適した、信頼性の高い、直感的で柔軟なフォトレジストシステムを提供します。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZは、PTRS機能、高解像度レーザー光源、自動安全部品を備え、精密パターニングと検査のための強力なツールです。