中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9250082 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、UVリソグラフィを可能にするフォトレジスト機器です。システムの高度なリソグラフィ機能により、マイクロエレクトロニクス回路の正確なパターニングを実現し、高性能デバイスの製造に最適なツールです。TEL MARK-VZは、極端な紫外線（EUV）を使用して、透明度が高く、光収差が低く、低コストのウエハにパターンを投影します。この新技術は、従来のALDプロセスの光収差を低減するために開発されました。TOKYO ELECTRON MARK V-Zの主な構成要素は、モノクロEUVリソグラフィ源、リソグラフィーマスク、フォトマスク、レジストプロセッサです。単色のEUVリソグラフィ源は、13。5nmの短い波長の放射を放射するプラズマ源の配列です。リソグラフィーマスクは、レジスト上にパターンを作成するために、EUV放射の特定の光波長が通過するように設計されています。マスクは回折要素としても機能します。フォトマスクは、希望するパターンを作成するために使用されるクロムベースのデザインの不透明なプレートです。レジストプロセッサは、基板の正確なパターン化を可能にするために、レジストの露出時間、温度、濃度を制御できるユニットです。MARK V-Zは、脱落、スパッタリング、またはオーブンベーキングなどの後開発プロセス、ならびに内部電極およびリードフレームのための理想的なツールです。また、TEL MARK V-Zは、パッド酸化物エッチングやシャドウマスクエッチングなどのパターニング技術を可能にする、柔軟性の高い機械です。TEL/TOKYO TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Zは、ピクセルレベルの精度を大幅に向上させる信頼性の高い効果的なフォトレジストツールです。最新のチップ製造に最適なツールであり、精度、柔軟性、信頼性により、マイクロエレクトロニクスデバイスメーカーに最適です。