中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9226379 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、半導体ウェーハの高精度加工を目的としたフォトレジスト機器です。それは厳密な許容および反復可能な結果の非常に正確なエッチングを提供することができる高度システムです。このユニットは、特殊なフォトレジストフィルムを使用してウェーハをコーティングする液浸光機をベースにしています。フォトレジストは、目に見えないマスクのように機能し、光エネルギーが表面の望ましい領域に到達し、その下にあるシリコン層に影響を与えることなく、露出およびエッチング処理を行うことができます。TEL MARK-VZツールは、2つの独立したリニアステージプレートを備えており、正確なパターンアライメントが可能です。高精度な制御により、わずか0。5 μ mのエッチング深度が可能で、広い領域で再現可能です。最適な性能のために、統合されたレーザー割り当てアセットは、さまざまな形状とサイズの複数のウェハエッチング操作を可能にします。このモデルは、高解像度の2。5インチモニターと傾斜および旋回式マウントを備えており、視認性を高めています。9。7インチの大型タッチスクリーンにより、柔軟な操作とデータ入力が可能です。標準的な200mmおよび非標準75mmのウェーハの両方を受け入れる多数のウェーハのホールダーは利用できます。装置は60°Cまでの温度を維持している間単位を調節する有効な冷却装置を含んでいます。この機械はまた、安全基準を改善するための低い電流測定値を提供します。効果的な再現性と精度を確保するために、このツールの設計と構築に細心の注意が払われています。また、高度な光学イメージング技術を搭載しており、信頼性と効果的な速度を維持しながら高解像度を実現します。TOKYO ELECTRON MARK V-Zは、精密半導体ウェーハを最適な精度と再現性で製造するための高度なフォトレジストモデルです。高度な機能と優れた性能により、半導体業界のさまざまな用途に最適な機器です。