中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9226209 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、半導体加工用に設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストは、フォトリソグラフィなどの半導体プロセスで使用される光感受性材料で、マスクからウェーハにパターンを正確に転送することができます。TEL MARK-VZは、最大200mmまでの半導体ウェーハに対応可能で、最先端のレジストコーティングモジュールを採用し、高精度なレジストアプリケーションを実現しています。さらに、システムには直接接触露光モジュールと正確なレジストパターン結果を得るための精密光学キャリパーが装備されています。高解像度CCDカメラを採用し、露光前のウエハ状態をダイレクトにモニタリングするとともに、露光パターンを正確に制御するロービデオノイズガルバノミラーを採用しています。露出プロセスとコーティングモジュールが完全に自動化されているため、高水準の再現性を実現し、高品質な結果を得ることができます。さらに、さまざまなレシピをツールのプログラム可能なメモリ資産に簡単に保存してリコールすることができ、複数のステップを含む複雑なプロセスで効率を高めることができます。また、東京エレクトロンマークV-Zは、汚染、意図しない露出などの安全上の問題が少ない、高い安全性能を提供するよう設計されています。クリーンルーム対応のガス供給モジュールを採用し、不要な露出を防止する安全インターロック、各レジストコーティング工程後のガス排出防止・洗浄・滅菌などを装備しています。また、紫外線安全モノクロメータを内蔵しており、露光工程中の放射線量を監視し、最適な値に自動的に放射線量を調整し、安全な動作環境を確保しています。全体として、MARK-VZは高度なフォトレジストシステムであり、比類のないレベルの精度、安全性、効率を提供します。最先端のレジストコーティングと露出モジュールと高度なCCDモニタリング技術を組み合わせることで、ユーザーは最小限の労力で高品質のウェーハパターンを処理するための信頼性と一貫したプラットフォームを提供します。