中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9221713 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、半導体生産におけるフォトマスク露出とエッチング用に設計された、最高クラスの高精度フォトレジストです。マイクロエレクトロニクスや光学用の回路のイメージングやパターニングに使用されます。このシステムには、金属、ポリマー、有機物、セラミックスなどのさまざまな基板を処理するためのマイクロ光学および投影イメージングシステムが装備されています。機械は0。05mmのサイズの小さい基質を扱うことができます。また、高解像度カメラを搭載し、基板曲率を検出および調整し、それぞれの露出が正確かつ一貫していることを保証します。このマシンは、均一で高速なUVレーザースキャナーと広視野光学顕微鏡を備えており、レーザービームの正確なアライメントが可能です。この技術により、露光量と印刷品質を正確に制御することができます。このツールには、高速自動ウェーハ処理アセットもあります。このモデルは、XaxisとY軸の両方で基板を正確に整列させ、クラス最高の露出均一性を達成することができます。この装置にはマスク洗浄システムが装備されており、露出工程中にほこりやその他の粒子がマスクや基板を汚染しないようにしています。このユニットは高度なアルゴリズムを使用して、潜在的な汚染物質を見つけて識別し、基板から除去します。また、開発プロセスの精度を確保するために使用される開発者の量を制御することができる高精度の開発ツールを備えています。また、これまでに開発されたパターンの最大40万枚の画像を保存できるイメージングライブラリも備えています。最後に、この資産は、露出されたレジストが所望の厚さにあることを確実にするのに役立つ計測サービスを提供することができ、開発されたレジストは一貫したパターン品質を備えています。これは、イメージングによって生成されたデバイスが最高品質であることを保証するのに役立ちます。