中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9221712 を販売中

ID: 9221712
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1998
(1) Coater / (2) Developer system, 6" 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、マイクロエレクトロニクス部品の開発・製造を行う最先端のフォトレジスト機器です。高速で信頼性の高い生産を効率的かつ費用対効果の高い方法で実現します。TEL MARK-VZは、高度なフォトアライナー技術、高精度リソグラフィ、トップオートメーションなど、さまざまな機能を提供します。高度なフォトアライナー技術により、サブミクロン分解能でより高精度なウェーハの位置決めと登録が可能です。リソグラフィーシステムは、より細かい構造と詳細なプロセスを可能にするための高ダイナミックレンジ機能を備えています。TOKYO ELECTRON MARK V-Zが提供するオートメーションにより、ファインパターニング、サブミクロンサイズ、高純度材料エッチングなどのプロセスを迅速かつ効率的に行うことができます。MARK Vzは、操作の監視、新しいレシピの開発、ユニットの制御に使用できる包括的なソフトウェアパッケージも備えています。このソフトウェアは、正確なパターン認識、手動プロセスの自動化、およびカスタマイズされたレシピを作成する機能を可能にします。また、データ分析とフィードバックにより、プロセス最適化におけるインテリジェントな意思決定が可能になります。TEL MARK V-Zは柔軟なモジュラー設計を採用しており、生産ラインとオートメーションへの統合に非常に適しています。ワークの高速操作が可能なロボットアームは、スループットを最大化し、コストを削減します。さらに、その高度なビジョンシステムは、欠陥を検出し、必要に応じて調整することができます。TOKYO ELECTRON MARK-VZは、最先端の半導体グレードの完全自動ウェットプロセスを採用しています。高温・高圧・エッチング技術を駆使し、素材をエッチングし、最高品質の画像やパターンを実現しています。高速で高精度なエッチング機能により、最新の機能を備えた設計に最適な結果を提供します。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Zは高精度のデバイス測定と欠陥検出が可能です。その強力なビジョンシステムは、さまざまな角度から高速な画像取得を可能にします。ビジョンシステムは、サブミクロン分解能であっても、迅速かつ信頼性の高い方法で欠陥を検出、識別、検出できます。要するに、東京エレクトロンマークVzは、さまざまな機能と利点を提供する高度なフォトレジストマシンです。高度なフォトアライナー技術、高精度リソグラフィ、オートメーション、ソフトウェアパッケージ、モジュール設計、およびビジョンシステムにより、マイクロエレクトロニクスコンポーネントの製造に非常に適しています。完全に自動化されたウェットプロセスと高精度のデバイス測定と欠陥検出により、高品質の生産に最適です。
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