中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9217704 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、フォトリソグラフィの最高レベルの精度と精度を提供するために設計された、最高のフォトレジスト機器TELからの最新の製品です。TEL MARK-VZは、複数の露出ヘッド、ステージ、コントローラ、ASMEリモートハンドリングモジュールなど、幅広いコンポーネントを備えたモジュラーシステムです。UV露光波長200〜365nmの直径300mmまでの基板加工が可能です。このユニットは最先端のコントロールパネルを備えており、露出ヘッドのパワーと速度、ステージのフォーカスと露出設定など、マシンの設定を素早く簡単に調整できます。さらに、コントローラは高度なASMEリモートハンドリングモジュールと統合することができ、フォトレジスト操作にさらなる制御と精度を提供します。東京電子マークV-Zの主な構成要素は、セミナーシリーズの露出ヘッドです。これらの信頼性の高いヘッドは、ファインラインフォトマスクの処理に最適な均一で一貫した光場を生成します。露出ヘッドはさまざまな構成で構成することができ、ユーザーはニーズに応じて露出操作を拡張することができます。このプロセスはまた、最高レベルの精度を確保するために3軸の位置登録ツールを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Zは、フォトレジストの基板への均一な適用と分布を保証する高度な液体処理アセットを備えています。これにより、基板変更時の手動調整が不要となり、フォトリソグラフィの効率化が図れます。また、有機フィルムや無機レジストフィルムなど、幅広いレジスト素材に対応しています。TOKYO ELECTRON MARK-VZは、ユーザーとその機器を保護するための高度な安全機能を幅広く備えています。装置には仮想エッジが装備されており、基板が安全でないゾーンに入ってすぐにプロセスを停止するかどうかを検出します。また、すべての液体が処理手順中に安全に含まれていることを保証する冗長な事前避難保護システム。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZは、最高レベルの精度と精度を提供する高度なフォトレジストユニットです。モジュラー設計、高度な安全機能、幅広いコンポーネントを備えたMARK V-Zは、高速かつ効果的なフォトリソグラフィ操作を必要とする人に最適なソリューションです。