中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9206244 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 9206244
ウェーハサイズ: 2"
Track, 2".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、高精度で高精度なフォトリソグラフィ処理を実現するフォトレジスト機器です。このシステムは、シリコンウェーハ、ガラス、プラスチックなど、さまざまな基板上に高度なパターンを作成するための高精度のナノインプリント技術を特長としています。このユニットは、高いスループット率を維持しながら、優れたトポグラフィーで再現性のあるレイヤーを提供します。このマシンは幅広い露出パラメータを提供できるため、お客様は特定のプロセス要件に最適な露出パラメータを適用することができます。このツールの高度なイメージング機能により、フォトレジストから歪みのない正確な画像を取得できます。さらに、最新の光学イメージング資産と正確な解析機能を備えており、表面特性を正確に決定します。また、オンライン欠陥検査や自動プロセス最適化ソフトウェアなど、精密な生産管理システムを備えているため、より効率的で柔軟な生産モデルが可能です。装置は、複数の層と複数のサイズで複雑なパターンを生成するために使用することができます。また、高い公差と再現性を備えた重要なコンポーネントを作成することもできます。さらに、短期的なサンプル処理時間と低消費電力で高速なフォトインプリント処理を実現します。このシステムは、キャリブレーション、インデックス作成、イメージセンタリング、レチクルホールド、エッジポイント検出、プログラム編集、データ伝送などの自動化された機能を組み合わせています。さらに、このユニットには、放射、温度の変動、および粉塵粒子から光子の性能レベルを保護するための高度なハードウェアが装備されています。また、温度変化のある環境でサブアングストロムレベルの動きを検出できる精密画像位置決めモニターを搭載しています。TEL MARK-VZは、精密かつ正確なイメージングおよびリソグラフィ処理を必要とする半導体および電子機器メーカーに最適なソリューションを提供する、高度なフォトレジスト加工ツールです。優れた地形と信頼性の高いパフォーマンスを提供し、ユーザーが望む結果を迅速かつ確実に得ることができます。
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