中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9206229 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、高精度で信頼性の高いフォトレジストソリューションを提供する最先端のフォトレジスト加工システムです。低コストで短納期の製品製造を可能にするよう設計されています。このマシンは、広範囲のフォトレジストオプションをサポートする大面積処理プラットフォームに基づいています。フィルムやチャンバーなどの部品を含み、最適なフォトレジスト加工に最適化されています。このツールはまた、優れたウェーハ間の均一性と歩留まりを確保するために環境を補償する高解像度のイメージング資産を提供します。TEL MARK-VZは、信頼性の高いフォトレジスト加工用に、正確な層厚モニターを搭載しています。このモニターはフォトレジスト層の厚さを測定し、正確なウェットプロセス制御を可能にします。また、入力パラメータに基づいてフォトレジスト層の厚さを自動的に設定する自動プロセス制御モデルも備えています。また、高度なレーザーリソグラフィーツールを使用して、フォトレジスト層に正確なパターンを作成します。このツールは、高精度のパターン精度を保証し、従来のリソグラフィ技術よりも複雑な機能を生成することができます。TOKYO ELECTRON MARK V-Zフォトレジストシステムは、広範囲の露光時間設定において一定の分解能を維持できるダイナミックな分解能を備えた優れたオープンループ分解能を提供します。また、高度なアライメントユニットを提供し、最高のスループットを実現する高精度で高速なアライメントを提供します。また、フォトレジスト層を選別・分離するための高速選別装置を搭載しています。この機能は、高品質の結果を提供しながら、ソートプロセスを簡素化するのに役立ちます。MARK V-Zフォトレジストツールは、信頼性が高く効率的なフォトレジストソリューションです。最高の柔軟性、信頼性、費用対効果を提供しながら、最も要求の厳しいリソグラフィ要件を満たすように設計されています。高度な機能、優れた性能、幅広いオプションを備えたMARK Vzは、フォトレジスト加工に最適です。