中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148326 を販売中
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TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、チップ製造から印刷まで幅広い業界で使用される最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、機器や材料を光波にさらすことで特性を変化させる一連の特殊プロセスを使用しています。TEL MARK-VZシステムも例外ではありません。高精度で高品質なレジストフィルム処理により、幅広い用途に対応できる薄型レジスト層を製造できます。TOKYO ELECTRON MARK V-Zユニットは、独自のSinwave™エキシマレーザーアーキテクチャです。この超高速パルスレーザーは非常に精密な光源を作用させ、これまでにない精度で高精度で極めて局所的な照射ポイントを生成します。抵抗フィルムの処置の間に、このレーザーが選択的にそれらが完全な正確さおよび比類のない再現性と変更することを可能にする強度および適量レベルに薄く、薄い抵抗の層を露出するのに使用されています。TEL MARK Vzフォトレジストマシンは非常にモジュラーで、ユーザーはツールをさらにカスタマイズして正確な仕様を満たすことができます。必要に応じてさまざまな回折計、光源、ビームエキスパンダ、ウェーブプレート、追加コンポーネントを追加して、パフォーマンスを向上させ、必要な精度と詳細を提供できます。このアセットには、自動制御モデルも搭載されており、適切なフィルム形成を保証するために幅広いパラメータを設定できます。これには、光学部品の選択、波長とパルス速度の設定、エネルギー線量の制御、ビームプロファイルおよびその他の変数が含まれます。この装置には、最適な性能とフィルム形成の一貫性を確保するための優れたフィードバックのためのクローズドループ監視システムも装備されています。TEL/TOKYO ELECTRON (TEL) TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZは、レジストフィルムの処理において比類のない精度、精度、再現性を提供する高度なフォトレジストユニットです。Sinwave™レーザーアーキテクチャと自動化された制御機械の組み合わせは、最高レベルの性能と柔軟性を提供し、ユーザーが幅広いアプリケーションで必要な正確な結果を達成できるようにします。
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