中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148316 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、半導体製造業界の様々なプロセスをサポートするために開発された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、プロセス制御の改善とさまざまな生産工程におけるフィルムの均一性の向上を提供するように設計されており、従来のスピンコートユニットと新しい自己整列レーザビーム平滑機の両方をサポートしています。スピンコートサブツールには、静電気モーターチャンバー、スピンコートアプリケーター、スプレーノズル、および正確な輪郭形成機能を備えたクローズドループのバックエンドウェーハ監視アセットが含まれています。また、ウェハスピンコーティング前のエッジビード除去用エッジビード除去装置も搭載しています。このシステムは、スピンコートプロセス中に各ウェーハの状態と均一性に関する詳細な情報を提供することができ、ウェーハステップハイトの均一性とより良い制御を可能にします。サブユニットを平滑化するレーザービームは、自己整列、超高パワーレーザーのペアを使用して、半導体ウェーハの表面形状を滑らかにします。これにより、従来の方法では到達できなかった非均一性やその他の仕様外のウェーハ機能を除去することができます。また、ウェーハ厚の高速測定も可能です。TEL MARK-VZは、最大4ミクロン/ハーフサイクルの速度で10インチおよび12インチのウェーハを処理することができます。ラインエッジの粗さ測定を含む、最大サンプルレートは毎時200ノッチです。さらに、このツールは、湿式および乾式エッチングチャンバー、急速熱処理炉、高温炉などの最先端の設備と互換性があります。東京エレクトロンマークV-Zは、半導体製造業界のさまざまなプロセスをサポートするために設計された、高度で信頼性の高いフォトレジスト資産です。スピンコートとレーザービームの平滑化プロセスの両方に、プロセス制御と均一性を向上させ、ウェーハの厚さやラインエッジの粗さなどの重要なパラメータをハンズオンで制御します。