中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148234 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 9148234
ヴィンテージ: 1997
Coater & developer 3D (E2 nozzle+Back rinse) 5HP 5Col Right Stand alone 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzフォトレジスト装置は、半導体ウェーハ上で高精度な画像やパターンを生成するための最先端のリソグラフィーシステムです。このユニットはフォトレジストと呼ばれる特殊な液体化学物質を使用しており、一般的に集積回路(IC)の製造のために、事前に決定された画像パターンを正確に生成することができます。TEL MARK-VZは、フォトレジストの露光時間を正確に倍増させる、自動化されたコンピュータ化されたストッパーユニットを備えています。また、フォトレジスト液をウェーハに均等に塗布するために使用されるスピンコーターも含まれています。スピンコーターは非常に高速で回転し、フォトレジストをウェーハに完全に広げます。また、露出時にウェーハを誘導するウェーハチャックを搭載し、安定した位置を確保しています。これにより、目的の画像またはパターンがウェーハに正確に印刷されます。また、セミオートセンタリングデバイスとワンクリックセンタリングを搭載し、常にパターンを正確に揃え、ウェーハを中心としています。最後に、MARK V-Zは、パターン化されたウェーハが常にレベルであり、基板と適切に整列することを保証するオートレベル機能を備えています。これは、フォトリソグラフィープロセスの精度と精度を高めるのに役立ちます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZフォトレジストツールは、ウェーハ上の複雑なパターンを精密に生成するために設計された高度なコンピュータ化および自動リソグラフィ資産です。ストッパーユニット、スピンコーター、ウェハチャック、オートレベル機能など、最先端の機器を使用することで、IC製造用のパターンを正確かつ正確に生成することができます。
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