中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148231 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、ウェーハ上の微細加工機能を実現するフォトレジスト機器です。照明とプロジェクションオプティクスを組み合わせ、高精度かつ高精度な基板に高度な設計を施すことができます。露出ユニットは40ミクロンの分解能を持ち、最大200mmのサイズの基板を露出することができます。TEL MARK-VZは、エネルギーに敏感なフォトレジストを使用して基板を露出します。この敏感な材料は、光の露出に反応し、基板上に特徴を正確に配置することができます。このフォトレジストは専門の開発者で処理され、露出されたフォトレジストを除去して基礎構造を明らかにします。東京エレクトロンマークV-Zは、ベクタースキャン、接触印刷、ダイナミックスキャン露出など、さまざまな露出モードを備えています。これにより、基板上に高品質の構造を生成するための幅広いオプションをユーザーに提供します。さらに、露光時の特徴を正確にアライメントするための高精度モーションツールと光学アセットを搭載しています。また、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZには、露光パラメータや機能をプログラムし、モーションモデルを制御して正確なアライメントを行える高度なソフトウェアパッケージが用意されています。また、ウェーハの欠陥を検出し、高性能な製造を実現する画像検査ツールも搭載しています。MARK-VZは、基板上の微細加工構造を生成するための強力で高度なフォトレジストシステムです。高解像度露光機能、精密モーションコントロール、高度なソフトウェア機能により、高精度で正確なマイクロファブレーション構造を作成できます。