中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148229 を販売中
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ID: 9148229
ヴィンテージ: 1995
Coater & developer
2C (2Nozzle+EBR)
2AD
2HP
4COL
Right
Stand alone
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzフォトレジスト装置は、マイクロサーキット製造業界で使用される強力で汎用性の高いツールです。マイクロサーキットの様々な材料のパターン化と堆積前に、基板上に感光材料の層を作成するために使用される最も一般的なシステムの1つです。TEL MARK-VZはフォトレジストステーション、ステッパー、コンベアシステムで構成されています。フォトレジストステーションは、レーザー源、ステージ、カメラで構成され、すべてが1つのユニットに収容されています。レーザーは基板にパターンをエッチングするために使用され、カメラは基板の画像をキャプチャします。ステージは、最適な処理のために正確に基板を配置するために使用されます。ステッパーは、固定開口レンズを使用して基板をスキャンしてパターニングと成膜を行う露出機です。これにより、ビームのサイズと角度を正確に制御し、パターニングと蒸着プロセスに最適な結果を得ることができます。ステッパーはまた、露出時間、強度、写真の間隔をさらに制御するためのライトボックスのオプションを提供します。コンベアユニットは、正確かつ効率的な処理のために、マシンの異なるコンポーネント間で基板を移動します。これにより、すべてのコンポーネントがフォトレジストプロセス全体で正確に整列されます。TOKYO ELECTRON MARK V-Zフォトレジストツールは、マイクロサーキット製造のための高品質な部品を確保するのに役立つ強力なツールです。セットアップと操作は簡単で、毎回正確で一貫した結果を提供します。そのコンパクトなサイズは、迅速なセットアップ、品質の結果、および信頼性を必要とするアプリケーションに最適です。
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