中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9142614 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、フォトリソグラフィ、薄膜成膜、平面化など、さまざまな用途に対応する最先端のフォトレジスト機器です。MARK。Vの更新版として、このフォトレジストシステムは、TELの専門知識と長年のハード経験に基づく高度なプロセスエンジニアリング技術の組み合わせを反映しています。マシンの中心には、最大8つの処理モジュールを同時に管理できる洗練されたコントローラがあり、複数のプロセスレシピを1回の実行で使用できます。DOSベースのオフラインプログラマを使用して、リアルタイムで立体的なトポグラフィ処理とモニタリングを行い、処理パラメータを簡単にプログラム、監視、調整できます。TEL MARK-VZは、精密な分散動作が可能な先進の7軸ロボットアームユニットを搭載し、最も要求の厳しいオーバーコートやフォトレジスト工程において信頼性の高い自動化を提供します。さらに、モーションコントロールパラメータのダイナミックレンジを提供し、特定のプロセスごとにロボットの動きを正確にプログラムすることができます。また、50 KeVで動作するデュアルビーム電子ビームリソグラフィ（EBL）ソースを使用して、正確なパターン分解能と高精度を確保し、ウェーハ上の小さな臨界寸法や細線幅の課題に効果的に対処します。東京エレクトロンマークV-Zには、埋め込みプロセス用のイオン源も備えており、最適なエンドポイント測定と材料層の厳密な均一性を提供します。最後に、高精度の光学測定およびプロセスモニタリング機能により、優れた欠陥と生産歩留まりが得られます。このツールの高度なマルチセンサ計測アセットは、光学測定と電気測定の両方を使用して、膜厚、レジスト厚、パターンサイズ、ステップ高さ、および表面の均一性などの重要な特性を測定します。統合された非接触4波長楕円計測（EM）モデルにより、プロセス内での効率的な特性評価と地形変化の検証も可能になります。TOKYO ELECTRON MARK Vzは、研究開発および生産アプリケーション向けに強力で自動化された正確なフォトレジスト装置を提供します。適切なスキルと経験により、このシステムはさまざまなプロセスで信頼性と正確な結果を保証し、最終的には製品歩留まりの向上につながります。