中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9118822 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、高度な多層サブミクロンデバイス製造用に設計された先進的なフォトレジスト機器です。フォトマスクアライナー、スピナー、ドライエッチャー、ウェットデベロッパー、プラズマアッシャーで構成されています。このシステムは、自動化されたアライメントユニットを使用することにより、極めて精度の高い4層のサブミクロンデバイス前駆体と、高度に構成可能な多層レジストプロセスを堆積することができます。TEL MARK-VZマスクアライナーは、0。15 μ mまでの解像度で、正と負の両方の抵抗をマスクすることができ、サブミクロンデバイスの製造に最適です。また、スピナーは高精度で温度制御された環境を備えており、フォトレジストの蒸発速度と厚さを微調整することができます。ALD/PEALDとDVDシステムの助けを借りて、非常に均一で高品質のレジストフィルムを得ることができます。ドライエッチャーはまた、フォトレジストパターニングの前に基板上のドーパントや他のコンポーネントの精密な堆積を可能にする、機械の不可欠なコンポーネントです。ウェット開発者は、ウェット化学加工ツールを使用して、均一なレジストリフトオフと除去を実現できる信頼性の高いレジスト開発を保証します。最後に、プラズマアッシャーは、従来のドライエッチングでトリミングできるアンダーエッチングまたはオーバーエッチングの問題を排除することで、微調整されたエッチングを保証します。TOKYO ELECTRON MARK V-Zは、お客様の特定の要件を満たすために高度なデバイス製造とカスタマイズ性を提供します。自動化された高度に構成可能なレジストプロセスとアライメントシステムにより、最も要求の厳しいアプリケーション向けに設計された信頼性と高精度のフォトレジスト資産です。このモデルはまた、実行時間とサイクル時間の短縮とコスト効率の高い処理を提供し、お客様はデバイスを信頼性が高く、迅速かつ無駄の少ないものにすることができます。