中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9111395 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、エッチング、画像、クリーンな表面を効率的に処理するフォトレジスト加工装置です。最先端のコンポーネント、プロセス、およびソフトウェアを使用したフォトレジスト処理のための完全なソリューションを提供します。このシステムは、2 in-1の大気制御を備えており、最適なイメージング、エッチング、および蒸着プロセスの結果を得るための真空および窒素ガス制御を組み合わせて、一貫性と正確性を保証します。フォトレジストは、集積回路をパターン化するために使用される特別な材料です。半導体業界で使用され、シリコン基板に正確なパターンを適用します。このユニットは、プロセスチャンバーとシャワーヘッドアセンブリ、ヘッド放電ユニット付きリアクター、ナノラミネートカセット、プロセスガス制御、ソフトウェアなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。さらに、フォトレジストパターニング、エッチング、クリーニングプロセス用のHFおよびHClウェットエッチングを提供します。HFエッチングプロセスは、シリコン基板からフォトレジストを除去し、基板をきれいにして、その後のステップに備えます。HClエッチングは浅いエッチングに使用され、正確な深さ制御が可能です。フォトレジストカセットマシンは、可変的な厚さを提供する機能を備えており、プリエッチングやポストエッチングを含む浅いから深いまでエッチングするために使用することができます。また、基板コーティング時の熱分散性能を向上させるユニークなパッシベーションも特徴です。このツールのプロセスガスは、最適なイメージング性能、エッチングおよび蒸着プロセス、および基板保護を確保するために調整されています。このアセットには、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えたプロセスコントロールユニットや、安全な作業環境を確保するためのプロセスチャンバーセーフティモニターなど、さまざまなユーザーフレンドリーなプロセスコントロールソフトウェアがあります。このモデルでは、リモートターミナルからレシピを編集することもできます。これらの機能により、迅速かつ正確なプロセスパラメータ設定が可能になり、一貫性のある正確な結果が得られます。TEL MARK-VZフォトレジスト加工装置は、精度を最大化し、フォトレジスト加工作業のサイクルタイムを大幅に短縮します。効率的なコンポーネント、プロセス、ソフトウェアを組み合わせることで、表面イメージング、エッチング、クリーニングアプリケーションに最適なソリューションです。