中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9033680 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、微細加工用途向けに設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、専用スキャナ、コントローラ、フォトレジスト加工室で構成されています。このスキャナは、感光材料の正確なパターン化を可能にするために半導体リソグラフィ技術を利用しています。このユニットは、円筒形レンズを介してダイオードレーザーを使用して、非常に集中した光ビームを作成します。光学機械は望ましいパターンを作成するためにレーザー光にフォトレジスト材料を露出するのに使用されています。コントローラーユニットには、フォトレジスト処理セッションを設定するために必要なすべての機能が含まれています。ツール構成、露出時間、パターニング速度など、さまざまなパラメータを備えたグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。フォトレジスト加工チャンバーは、アセットの主要コンポーネントであり、フォトレジストの乾燥および湿潤処理のために設計されています。それはフォトレジスト材料の露出のための正確に制御された条件を提供します。露光時間、温度、圧力、湿度など、さまざまな調整可能な変数を備えています。また、電子圧力制御、自動温度監視、フォトレジスト材料の安全処理を保証する一連の安全メカニズムなどの安全機能も備えています。TEL MARK-VZは、微細加工用途の高い要求に応えるよう設計されています。産業グレードのシステムと比較して大幅に高解像度のハイスループットイメージング技術を提供し、デバイス製造に不可欠なさまざまなフォトレジストプロセスを容易にします。このモデルは、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）や太陽光発電システムなどの半導体アプリケーションに適しています。