中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293828918 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、電子ビームリソグラフィやエッチングの半導体デバイス製造に使用されるフォトレジスト機器です。真空チャンバー、シャッター、イオンガン、光学顕微鏡で構成されています。真空チャンバーは、高真空環境を維持するように設計されています。シャッターを使用して電子銃からビームを分散させ、10nm以上の解像度で微調整することができます。チャンバークリーニングユニットとしてイオン銃も付属しています。光学顕微鏡を使用して、サンプルを画像化し、ビームスポットサイズと形状を監視します。TEL MARK-VZは、10nm以上の解像度でサブミクロンの機能を高解像度で直接書き込むことができます。これは、複数の特徴を持つ複雑なパターン形状を作成するための完全なフォトレジストパターニングツールキットを提供します。パターニングフィーチャーは、1 µmの精度で調整できます。マルチチャンネルアライメントマシンを使用することで、複数のパターンを高精度に一致させることができます。東京エレクトロンマークV-Zは、高速スキャン速度と短いRFパルス時間による高速電子リソグラフィも可能です。このツールは、光学マスク、薄膜トランジスタ、MEMSデバイス、および集積回路の作成など、さまざまなアプリケーションで使用できます。特に、MEMSデバイス用の高解像度および高速パターン書き込みを提供します。このアセットは高度にカスタマイズ可能で、複数のアプリケーションや材料に使用できます。TOKYO ELECTRON MARK Vzは、信頼性の高い効率的なフォトレジストモデルです。これは、高スループットと高解像度パターニングのために設計されています。この装置は、複雑なマイクロノスケールおよびナノスケールの機能を安全かつ正確に作成する高度な機能を提供します。高度にカスタマイズ可能で、幅広いデバイス製造アプリケーションに適しています。
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