中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293821346 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、幅広いフォトリソグラフィープロセスに高い精度とスピードを提供する高精度フォトレジスト機器です。最大10ミクロンの解像度と高スループットを実現し、連続フィルム露光用の多層システムを採用しています。統合されたリソグラフィートラックには、完全に自動化されたレーザースキャナー、レーザーコーティング、レジストコーティングユニット、独立して制御されたコントローラなど、一連の革新的なコンポーネントが搭載されています。レーザースキャナーは、優れたアライメント精度とレーザービームの位置制御を提供します。レーザーコーティング機は、基板上のフォトレジスト塗布の均一性を保証し、レジストコーティング工具は正確な厚さと均質性を可能にします。フォトリソグラフィーコントロールユニット（PCU）は、フォトリソグラフィープロセスの重要なコンポーネントです。これは、露光時間やフォーカスなどの重要なパラメータを組み込むだけでなく、レーザースキャンのステージを制御するために、リソグラフィーの段階を制御する責任があります。本資産の中核となるのは、TEL/TOKYO TEL MARK-VZソフトウェアです。フォトリソグラフィーツールの正確な露出制御とユーザーフレンドリーなユーザーインターフェイスを提供します。TOKYO ELECTRON/TOKYO TOKYO ELECTRON MARK V-Zフォトレジストモデルには、ワンショット露光方式などの先進的な機能も搭載し、より鮮明な解像度を実現しています。フォトレジスト装置は、高度なパターン生成とテスト、ならびにマスク作成用のカスタムライブラリも可能です。さらに、システムは拡張可能であり、多層加工に柔軟性を提供します。また、温度コントローラも備えており、最適なリソグラフィープロセスのための高精度な温度結果を生成します。これらの先進的な機能により、TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZフォトレジストユニットは、高精度かつ効率的なフォトリソグラフィを可能にし、お客様のご要望に応じてより高い収率と信頼性を実現します。比類のない精度と精度を提供し、高品質な製品を市販可能にします。