中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293591400 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、半導体・フォトマスク製造プロセス向けに設計された全自動フォトレジスト装置です。このシステムは5軸ロボットスピナーを備えており、より高速でより正確なプロセス制御を可能にします。このロボットは最大1800 RPMの回転が可能で、ユーザーは処理ニーズをより制御できます。また、オートビジョンマシンを内蔵しており、作業面にフォトマスクをより正確に配置できる追跡技術を備えています。このビジョンツールにより、アセットはプロセスレシピパラメータを検出することができ、より迅速かつ正確なプロセス制御が可能になります。TEL MARK-VZモデルは、フォトレジストの安定した蒸着速度を提供する高精度スピナー駆動も備えています。これにより、ウェーハ全体の層の厚さが均一になります。高精度のスピナー駆動に加えて、装置にはPLCによって制御される精密スプレーヤーも含まれています。このシステムには画像解析機能が内蔵されており、ユニットは即座にプロセスパラメータを調整できます。これにより、精度とプロセスの一貫性が向上します。このマシンには、多数のプロセス監視、フィードバック、制御システムも含まれています。これには温度および圧力インジケータが含まれ、プロセスが行われている間にフィードバックを提供します。また、フォトレジスト製剤のフィードバックを提供する濃度モニターも含まれています。最後に、TOKYO ELECTRON MARK V-Zツールには、プロセスの設定と監視のためのユーザーインターフェースが含まれています。このユーザーインターフェイスは、簡単な操作のために設計されており、プロセスパラメータの迅速なセットアップと監視を可能にします。インターフェースはまた、プロセスパラメータに関する詳細な情報を提供し、時間の経過とともに正確で一貫した結果を保証します。