中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293587287 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、超小型抵抗器および/または集積回路（IC）を製造するための高精度で高透明性レジストイメージングソリューションを提供するナノ加工用の最先端フォトレジスト機器です。その優れた速度と精度により、半導体業界における感光デバイスを製造するための最も包括的で信頼性の高いフォトレジストシステムの1つです。TEL MARK-VZフォトレジストシステムは、精密かつ一貫したレジスト露光を提供する自動最適露光（AOE）ユニットを搭載しています。AOEマシンは、信頼性の高いレジストパターンを作成するために必要な露出エネルギー、線量、時間など、最適化された露出パラメータを統合しています。TEL独自の温度制御治具は、一貫した低温レジストアプリケーションを実現し、基板高さ制御（SHC）は優れたレジスト均一性を提供し、高さ変化に迅速に対応します。汎用性の高いTOKYO ELECTRON MARK V-Zツールは、正と負の両方のフォトレジストを含む、あらゆるタイプのレジストおよび基板材料を容易に処理するように設計されています。レジストイメージを溶解して開発する条件はボタンを押すだけで簡単に変更でき、各プロジェクトの正確なニーズに適応することができます。MARK V-Zには高解像度パターン認識機能が搭載されており、ターゲット基板から別の基板に画像を転送する際に素早く簡単に自動アライメントが可能です。さらに、MARK-VZフォトレジストアセットは、特定のアプリケーションの特定のニーズに応じて、追加のウェーハサンプラー、追加の基板またはウェーハトランスポートモデルなどの追加モジュールとコンポーネントを受け入れる能力を備えて設計されています。TOKYO ELECTRON MARK Vzは、単一の強力な機器で柔軟性、精度、汎用性を提供します。複雑なICから写真感度の高いデバイスまで、あらゆるアプリケーションに機能的で経済的なナノファブリケーションを設定するための理想的な投資です。