中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293587286 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 293587286
ウェーハサイズ: 6"
(2) Coater system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、半導体製造の分野でイノベーションの最先端を歩んできた日系企業TELが製造したフォトレジストエッチング機器です。TEL MARK-VZシステムは、金属エッチング、半導体ウェハラインリソグラフィ、半導体デバイス製造などのプロセスに合わせて設計されています。東京エレクトロンマークV-Zユニットは、レーザー加工技術を使用して金属をマスクや基板に正確にエッチングするレーザー切削工具を内蔵しています。この技術は通常、4ナノメートルの特徴サイズのパターンを作成するために使用され、マイクロマシニングなどのさまざまなアプリケーションで使用できる正確で高解像度の画像を提供します。また、精度と詳細な再現性をさらに確保するために、統合ビジョンマシンも付属しています。このツールには、半導体デバイス製造の過程で使用される対流リフローオーブンも含まれています。このオーブンは500°Cで上がる均一な暖房の環境を提供します、従って小さい電子部品は基質に安全そして正確に付けることができます。このプロセスは、特に集積回路で使用される半導体デバイスの作成に不可欠です。TEL MARK Vzアセットには、基板の欠陥を最小限に抑えた高密度パターニングを実現する深紫外線照明モデルも搭載しています。このプロセスは、欠陥のない高密度パターンを作成し、必要なパターンを正確に反映するために不可欠です。自己再生フォトレジスト化学は、使用ごとに一貫して高分解能パターンを保証します。全体として、MARK V-Zは半導体デバイスの製造、金属エッチング、リソグラフィに革新的で正確なソリューションを提供します。高度なレーザー切断機能、対流リフローオーブン、深紫外線照明を組み合わせたMARK-VZ装置は、半導体業界に最高級かつ最も詳細なパターンを提供するように設計されています。システムは常にアップグレードされ、欠陥を最小限に抑えて高精度で再現可能な実行を保証します。
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