中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293587285 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 293587285
ウェーハサイズ: 6"
(2) Coater / (2) Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzは、TEL (TOKYO ELECTRON)が製造するフォトレジスト機器です。TEL MARK-VZは、高精度、高信頼性、高効率なフォトレジスト加工を幅広い用途で実現するために設計された、高度なコーティング、画像転送、および成膜システムです。コーティング、イメージング、フィルム成膜技術の最新技術を搭載し、複雑な基板に優れたウェハ接着性と正確なコーティングを実現します。東京エレクトロンマークV-Zは、積層コンデンサ、医療機器、光電子デバイス、センサーなどの薄膜デバイスの製造など、幅広い産業ニーズに対応しています。産業用グレードのフォトレジストマシンとして、MARK-VZは信頼性、再現性、および正確な制御の商標を提供しています。さらに、スプレーレート、膜厚、スプレーパターン、その他の特性など、さまざまなコーティングパラメータを提供し、効率的で正確なウェーハボンディングを実現します。TOKYO ELECTRON MARK Vzは、フラッシュ蒸着薄膜コーティング、静電スプレーコーティング、自動画像転送システムなどの先進的な手法を採用し、最適な性能と精度を確保しています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Zは、一度に最大12枚の350mmウェーハを積載できるスロットフォトレジストチャンバーと、さまざまなフォトレジスト加工ニーズに適したその他の機能を備えています。また、自動成膜、噴霧スプレーコーター、自動ウェーハプロセッサ、リアルタイムウェーハ解析、自動画像転送、オートビジョンシステムも含まれています。さらに、各プロジェクトの特定の要件に合わせてパフォーマンスを調整するために使用できるさまざまなカスタマイズ可能なパラメータが装備されています。また、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZは、ウェーハ特性を評価し、正確かつ効率的な処理を実現するリアルタイムのウェーハ解析アセットを備えています。ウェーハの欠陥を検出し、ウェーハの厚さと直径を測定し、ウェーハ全体の品質を評価することができます。さらに、TEL MARK V-Zには、イメージライブラリ、レシピ設定、自動インラインレシピ変更、リアルタイムデータの表示など、さまざまなプロセス監視機能が搭載されています。これらの機能により、ユーザーはプロセスパラメータとその結果をより正確に把握できます。結論として、東京エレクトロンマーク-VZフォトレジスト機器は、産業用グレードの製造において信頼性が高く効率的なツールです。高度なコーティング、イメージング、成膜能力により、幅広い生産ニーズに適しています。さらに、カスタマイズ可能なパラメータとリアルタイムのウェーハ解析機能により、正確で正確な結果を得るための理想的なツールとなります。
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