中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #149633 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vzフォトレジスト装置は、ナノスケールパターンの工業生産のための高精度リソグラフィーシステムです。この最先端のリソグラフィーユニットは、頻繁に使用される波長（633nm、 365nm、 248nmなど）で非常に細かく詳細な幾何学的パターンを生成することができ、ハイエンドの化学処理および計測機能を提供します。TEL MARK-VZフォトレジストマシンは、光投影リソグラフィ（OPL）や電子ビームリソグラフィ（EBL）など、複数の動作モードを提供します。OPLでは、投影レンズに光が投影され、レンズは微細なパターンを基板上に拡大します。EBLは非常に微細な構造が極端な精度を必要とする場合に使用されるプロセスです。この方法のリソグラフィは、基板に微細な構造を書き込むために、非常に集中した電子ビームを利用します。TOKYO ELECTRON MARK V-Zフォトレジストツールは、プライムコーティングや開発などのさまざまな化学プロセスも提供しています。プライムコーティングステップは基板を保護し、均一な表面を作成するのに役立ちますが、開発者はフォトレジスト層を柔らかくして溶解し、基盤パターンを明らかにします。また、東京エレクトロンマーク-VZフォトレジストアセットは、製品の最高品質を保証する計測機能を提供します。これらには、線の幅と高さ、サイドウォール角度、オーバーレイエラーなど、さまざまな測定が含まれます。これらはすべて、正確で一貫したパターンジオメトリを保証するために重要です。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZフォトレジストモデルは非常に信頼性が高く、あらゆるリソグラフィープロセスにおいてスループットと精度の両方を最適化します。この装置は極めて微細な構造物の生産を可能にし、3D構造からナノエレクトロニクスデバイスまで、文字通り想像できるあらゆるパターンの生産を可能にします。したがって、このシステムは、最高級で最も複雑な構造を製造しようとする企業にとって非常に貴重なツールです。