中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark Vz 8000WC #9148322 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vz 8000WCは、半導体、フラットパネルディスプレイ、ナノテクノロジー、オプトエレクトロニクス業界で精密な薄膜を製造する最先端のフォトレジスト機器です。これは、ユーザーがサブミクロンの精度と高スループットを達成することを可能にする多くの最先端の技術と高度な機能を備えています。8000WCは、高度な成膜技術である「ドライプロセス」機能を利用しています。この技術は、真空蒸着(VVD)を適用して、フォトレジスト材料の均一でコンフォーマルコーティングを基板に効果的に堆積させます。このプロセスは、高温およびプラズマ生成ラジカルを利用することで、正確で再現性のある低コストの成膜結果を得ることができます。この8000WCは、複数のドライプロセスベースの成膜構成と温度制御を提供し、望ましいレベルの薄膜精度とスループットを実現します。このシステムには、使いやすいコマンドメニューを備えたグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)と、堆積手順で期待されるものの色のスクリーンショットが含まれています。また、垂直アスペクト比の機能を備えており、フィルムの均一性を正確に制御し、非均一性を最小限に抑えることができます。さらに、サイドスロープ補償機能を備えており、特定の基板の傾斜角度のシフトを可能にします。この8000WCは、プロセスの安定性と機能性を向上させるために、可変周波数(23〜300MHz)の高出力ホットソースも提供します。同じレベルの精度と均一性を持つ大小の基板の両方を処理するために使用することができます。最後に、その高度な画像品質調整(IQA)機能は、強化されたコントラスト感度と色彩感度のためのカスタマイズされたレシピパラメータを提供します。TEL Mark Vz 8000WC Photoresist Machineは、半導体、フラットパネルディスプレイ、ナノテクノロジー、オプトエレクトロニクスの製造に関わるフォトレジストプロセスに適した、使いやすい機能、高精度、信頼性の高いスループットを強力に組み合わせて提供します。
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