中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark Vz 10000WC-N #9148318 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vz 10000WC-Nは、リソグラフィ感光用途に使用されるフォトレジスト機器です。光を使ってフォトマスクから基板にパターンを移す高度なリソグラフィープロセスを使用しています。このシステムは、パターンの位置とサイズを正確に制御して、高品質の画像を可能にします。このユニットは高度に統合されており、パターニング、クリーニング、エッチング、検査などのレジストアプリケーションにトータルソリューションを提供します。マスクの光源となる照明器、マスクを露出する電子ビームスキャナ、パターンを基板に移すイオンビームエッチャーで構成されています。照明器は、均一で一貫した照明を保証する+/-1°Cの温度制御を備えています。電子ビームスキャナは、1〜5ミクロンの範囲を正確にスキャンすることができ、最大動作速度は500x倍率です。加速/減速、フォーカス、ブランキング機能を備えた3段加速機を使用しています。イオンビームエッチャーは、2ナノメートルの分解能でサンプルを正確にエッチングすることができます。このツールには、特定の顧客要件を満たすための前処理および後処理システムも多数含まれています。プロセスの監視と分析、自動アライメントキャリブレーション、取得したデータの分析、パターンの光学的読み出し、マスク検査などの画像キャプチャ機能を備えています。本アセットは、基板の洗浄にTEL ScrubRXソリューションを使用し、各種レジストに対応するベーキングセレクターを採用しています。さらに、さまざまなスキャナ固有の電子フィルタを使用して、画像パラメータを調整するマルチプロセスフィルタ（MPF）や色分離のためのChromaFiltersなど、画像の品質を制御します。全体的に、TEL Mark Vz 10000WC-Nは高度で統合されたフォトレジストモデルで、ユーザーはパターンの位置とサイズを正確に制御して高解像度のパターンを実現できます。表面粗さ測定から最先端の半導体デバイス統合まで、幅広い用途に適しています。