中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK V8 #9142612 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8は、半導体製造技術のリーディングイノベーターであるTELが製造するフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロニクス回路などの固体デバイスの製造に必要なフォトレジストコーティングを迅速かつ正確に開発するために設計された包括的なツールスイートです。TEL MARK V8システムを使用すると、意図したデザインのフィーチャーサイズとレジストコーティングを正確にマッチさせることができます。TOKYO ELECTRON MARK V8は、湿式または乾式のケミカルコーティング、フラット基板上のフォトレジストのスピンコーティング、ソフトベーク、露出後のベーキング、エッチングなど、さまざまなプロセスを備えています。このユニットは、基板の自動ロード、モニタリング、エッジ除外など、さまざまな洗練されたオートメーションツールを備えています。また、レーザーパワー、パルス時間、パターン分解能などの幅広いプロセスパラメータを備えており、デバイスの製造に必要なカスタマイズ性と精度を備えています。MARK V8は既存の生産ラインに統合することができ、市場のフォトレジストの大部分と互換性があります。スピン後のレジストコーティングは、パターン形状の特徴サイズを微調整できる独自のエッチングソリューションで開発されています。このマシンはまた、多くのアプリケーションに比類のない再現性と再現性チェックを提供します。これにより、高度な再現性とプロセス制御、高精度デバイス製造の重要な側面を可能にします。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8は、絶縁材や化学物質の流出を抑えるオーバーフロータンクなど、機械部品と電気部品の両方に関する最新の安全基準で設計されています。これらのコンポーネントはすべて、現代の半導体産業のニーズを満たす効率的で信頼性の高いフォトレジストツールになります。