中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643504 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8フォトレジスト装置は、高精度・高精度のフォトマスクを実現するパワフルなデジタルパターニングツールです。半導体デバイス、ディスプレイ、およびその他のマイクロエレクトロニクス製品の作成に使用されます。TEL Mark V8は、先進のステッピングモータ技術を活用し、フォトマスクブランクに機能を正確に配置するコンベア型システムです。このユニットは、最大600mmのサイズの基板を処理するように設計されており、3µmの位置精度で0。5〜0.3µmの最小パターンサイズを実行します。TOKYO ELECTRON MARK V8は、基材（シリコンなど）の一部を光学的に選択的に除去し、模様付けされた基板をフォトマスクに移してデバイス加工を行うフォトマスキングです。このマシンは、次のような高度なマスキング技術を実装しています：-Iライン照明：365 nmの波長を持ち、小さな機能をパターン化するために利用されています。-KrF Deep UV： 248 nmの波長を持ち、大きな特徴をパターン化する際に使用できます。-G線の照明：515 nmの波長があり、中間サイズの特徴のパターンで使用されます。-広帯域照明：360から420 nmの広い波長の適用範囲があり、特徴サイズの広い配列のパターン化のために使用されます。-レーザーダイレクトイメージング：見えないレーザービームを使用して、フォトマスクに直接パターンを作成し、ブロードキャストイルミネーションの必要性を排除します。品質と再現性を確保するために、Mark V8はマスキングプロセスを改善するいくつかの高度な機能を提供します。これらの機能には、デュアルビームアライメント、オートアライメント補正、エッジダイシフト補正、低照度画像認識、高解像度イメージングなどがあります。さらに、フィルムの開発、マスキング、エッチング、イメージングなど、複数の処理ステップを同時に実行できます。機械にまた異なった顧客の必要性に適する多数の処理方法を支える機能があります。TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8は、ハイエンドフォトマスクの迅速で信頼性の高い生産を必要とするユーザー向けに設計されています。その精度と再現性により、半導体デバイス、ディスプレイ、その他の複雑な電子デバイスのメーカーに適しています。このツールは、幅広い基板を処理することができ、その機能は、複雑な電子デバイスを作成する効率的で高品質の方法を企業に提供します。