中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643489 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8は、先進的な製造プロセス向けに設計されたフォトレジスト装置です。フォトレジストをウェハや基板に直接貼り付けることで、均一で高性能なコーティングを実現します。この均一性は、処理中のフォトレジストのカバレッジを増加させ、歩留まりを増加させます。フォトレジストシステムは、TEL独自の技術を使用して、超低変調と均一なフォトレジストコーティングを製造しています。TEL Mark V8モデルは、東京エレクトロン精密エッチプロファイルを採用し、アンダーカットの深さを正確に制御します。このエッチプロファイルテクノロジーは、MEMSおよびULSI技術を含む超滑らかなサーフェスを必要とするアプリケーションに最適です。このユニットは、ウェーハまたは基板に堆積したフォトレジストコーティングの厚さを効果的に制御することができます。この機能は、均一で薄いフォトレジストコーティングを必要とする高アスペクト比のリソグラフィープロセスに特に役立ちます。フォトレジストの厚さは、独自のin-situ測定機を使用して測定され、堆積フォトレジストがウェハ全体にわたって一貫していることを保証します。TOKYO ELECTRON Mark V8ツールには、リソグラフィープロセスをより効率的にするためのさまざまな機能が搭載されています。ハイスループットと汎用性を考慮して設計されており、ホームプレートとウェーハサイズのさまざまなオプションを備えているため、リソグラフィー用途で最大限の柔軟性が得られます。さらに、このアセットは幅広いフォトレジストタイプをサポートしており、ユーザーはアプリケーションに最適なレジストを選択することができます。Mark V8モデルは、最適化されたレシピ設計でプロセス制御を提供し、ユーザーは特定のニーズに合わせたレシピセットを開発することができます。また、現場測定やリアルタイムプロセスモニタリングなど、さまざまな工程制御ツールが内蔵されているため、リソグラフィープロセスを最適化したい人に最適です。さらに、システムには保存されたリソグラフィのレシピのライブラリがあり、ユーザーは迅速かつ便利に一貫した結果を出すことができます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8は、優れた性能とプロセス制御を提供する高度なフォトレジストユニットです。このマシンは、超低変調および均一なコーティング、および幅広いフォトレジスト材料との互換性により、高精度のリソグラフィ用途に最適です。また、in-situ測定やリアルタイムプロセス監視などのプロセス制御ツールも内蔵されているため、ユーザーはレシピを最適化し、繰り返し可能な結果を得ることができます。