中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643487 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8フォトレジスト装置は、TELが設計した最先端のリソグラフィーシステムです。このユニットは、シリコンウェーハ上の半導体製造プロセスで使用されるように設計および製造されています。このマシンは独自の自動プロセス制御ソフトウェアを使用しており、幅広い機能とプロセスパラメータの詳細な監視をユーザーに提供します。これは、リモートからアクセスできる組み込みのデータロガーによって支援されます。これにより、ユーザーは品質をチェックし、ウェーハからウェーハまでのプロセスの一貫性を確保することができます。このツールは、最先端の200mmカメラアセットを使用しており、最大16インチの大きなイメージングフィールドを提供します。このカメラは、露出された各ウェーハの非常に高解像度の写真を撮影し、露出された領域の詳細な検査を行います。このモデルには、リソグラフィープロセスの前、中、後に測定を行うことができる統合レーザー測定装置も組み込まれています。TEL Mark V8は、DUVフォトレジスト、I-Lineフォトレジスト、248 nm深紫外線フォトレジストなど、さまざまなフォトレジスト素材をサポートしています。これらの材料は、高精度の自動分注システムを使用してウェーハに適用されます。必要な材料が適用されると、ユニットは、接触および投影印刷、柔らかくてハードベーク、および露出後のベークなど、さまざまなリソグラフィープロセスを実行するように構成することができます。さらに、このマシンは優れた空気環境制御を提供し、粒子汚染を低減し、超低振動環境を提供するように設計されています。これは、ハイエンドのエアフィルターツールと高度な真空制御アセットを使用して達成されます。このモデルは設備の整った設備と知識豊富なスタッフが適切に動作する必要がありますが、ルーチン機能を自動化することで時間と労力を削減するように設計されています。この装置は、1時間あたり最大200個のウェーハを処理することができ、大量のアプリケーションを可能にします。TOKYO ELECTRON Mark V8は、回路基板やマイクロエレクトロニクス部品の大量生産に必要な機能と機能を提供する、パワフルで汎用性の高いフォトレジストシステムです。