中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9396047 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、高い生産性と優れたプロセス制御を実現するフォトレジスト装置です。これは、高速、効率的かつ正確な操作を可能にしながら、機能の広い範囲を提供します。このシステムは、分光選択イメージング技術を使用して、単一の露光でパターン要素の高密度の高解像度画像を提供します。ユニットは、レジスト露出機、レジスト加工ツール、ウェーハ転送アセット、ウェーハステージセクションで構成されています。レジスト露光モデルには、取り外し可能なデジタルイメージングプレート、マルチチャンネル露光源、シャッター装置、洗練された制御システムが含まれています。レジスト加工ユニットは、高解像度の開発と高度な紫外線画像機能を提供します。ウェハトランスファーマシンは、あるステーションから次のステーションへのウェハの迅速な転送を可能にします。ウェハステージセクションには精密ステージが装備されており、処理サイクル全体にわたって正確かつ再現性のあるウェハ配置を保証します。TEL Mark Vは、優れた画像解像度と露出源の柔軟性と、さまざまなウエハタイプの高度なアライメント機能を提供します。このツールは、手動の手動アライメントを排除し、露出マスクの正確な登録を保証する自動ウェーハアライメントを備えています。露出アセットには、レーザーや光源など、さまざまな露出源もあります。さらに、幅広い半導体集積回路の効率的な製造を可能にする高度な制御機能を備えています。高精度の機能に加えて、洗練されたフォールトセンシングも備えており、処理性能に影響を与える可能性のある障害や不規則性を検出して診断することができます。また、品質管理や分析のために温度や圧力などのデータを監視・保存するデータロギングシステム「TOKYO ELECTRON MARK-V」を搭載しています。また、パターンジェネレータやハンドリングシステムなど、さまざまな周辺機器との接続も可能です。全体として、Mark Vは、複雑な半導体およびフォトレジスト製品の製造において優れた性能と信頼性を提供します。高度なイメージングと制御機能を活用することで、優れたプロセス制御を可能にし、高い生産効率で優れた結果をもたらします。このツールは、フォトレジストプロセスのすべての部分が正確かつ効率的に処理されるように設計されており、チップの製造と設計に関連する時間とコストを大幅に削減します。
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