中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9384737 を販売中

「TEL/TOKYO ELECTRON Mark V」フォトレジスト装置は、主にマイクロエレクトロニクス製造に使用される高度なフォトリソグラフィーシステムです。蒸着・エッチング技術を用いて半導体ウェーハ上のパターンを生成する装置です。TEL Mark Vマシンは、マイクロエレクトロニクス部品の処理性能を向上させるために設計されたフルレンジの機能を備えています。このツールは、基板処理ユニット（SPU）、分解能と露出コンポーネント（REC）、プライマリコントロールアセット（PCS）の3つの主要コンポーネントで構成されています。SPUは、フォトレジスト、フォトマスク、その他の薄膜材料を含む幅広い材料を処理するように設計されています。このコンポーネントは、温度、圧力、湿度など、プロセスのすべての側面を正確に制御して、フォトリソグラフィ工程を確実に実施するように設計されています。RECコンポーネントは、プロセスの解像度を調整することにより、フォトリソグラフィックパターンを容易にします。また、基板上のパターンを示す露出を調整します。PCSコンポーネントは、東京エレクトロンマーク-V装置内のすべての機器の主要な自動制御モデルとして機能します。各コンポーネントのパフォーマンスを監視することで、数百から数千の基板間の均一性を確保します。MARK-Vシステムには、プロセス中に収集されたデータを監視および分析するためのいくつかの特殊なツールも含まれています。キャリブレーション制御、基板マッピング、ピークパワーマッピング、パラメトリックイメージングが含まれます。このデータ収集は、製造プロセス中に品質とパフォーマンスが維持されるようにするのに役立ちます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vは、マイクロエレクトロニクスコンポーネントを作成する際の精度と信頼性を考慮して設計されたユニットを提供します。ナノメートルの距離までの特徴の精度を測定し、露出時間を正確に記録して最大の性能を発揮します。高度なサブシステムの組み合わせにより、マイクロエレクトロニクス製造プロセスの再現性と信頼性が保証されます。