中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9384736 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、超高密度集積回路チップの製造に使用される先端技術です。薄膜にレジスト層を堆積・エッチングすることができます。フォトレジストシステムは、最先端のウェーハとマイクロプロセッサ用に特別に設計されています。高度な光学ユニットと高度なプロセス制御機を組み合わせた高性能マシンです。TEL Mark Vは、サブミクロンアライナー、フォトレジストディスペンスモジュール、ケミカルプリストリップモジュール、プラズマストリッパーモジュール、レジストリップモジュールなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。アライナーはフォトレジストディスペンスユニットとウェーハを正確に整列させるために使用され、フォトレジストディスペンスモジュールはフォトレジスト感光材料をウェーハに配分するために使用されます。化学プリストリップモジュールは、レジスト撮影に備えて予備ウェハ準備に使用されます。プラズマストリッパーモジュールは、必要に応じて特定の層のプラズマエッチングを可能にします。最後に、レジストストリップモジュールは、開発後のレジストレイヤーの除去を可能にします。TOKYO ELECTRON MARK-Vのサブミクロンアライナーにより、ウェハ上の特徴をサブミクロン精度でイメージングツールにアライメントできます。このツールには、スキャンアライメント、スムーズなアライメント、フォーカスアライメントなど、さまざまなアライメント方法が装備されています。MARK-Vのフォトレジストディスペンスモジュールは、自動エンドポイントモニターで構成されています。また、フォトレジストの正確な位置決めに使用される熱伝導ディスペンスセンサーも内蔵しています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vの高度なプロセス制御アセットは、ウェーハやフォトレジスト素材の温度をモニターする温度コントローラで、画質を正確に制御します。また、基板解析ツールも自動化されており、主要なウェーハ特性を迅速に判別することができます。Mark Vフォトレジスト装置は、超高密度回路チップの高精度かつ高性能な製造を提供します。フォトレジスト材料の迅速かつ正確なアライメントと成膜を可能にし、複雑なデバイスを可能な限り最高の基準で生産することができます。高度なプロセス制御システムは、慎重な温度監視と基板分析を可能にし、結果の精度をさらに高めます。