中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9362227 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、高度な回路レイアウトと設計を備えたプロセッサ製造用の洗練されたシステムです。フォトレジストの高精度・高分解能露光を様々なサイズの基板に供給することが可能です。シンプルなメンテナンスと操作、高いスループットと革新的な設計機能により、IC製造メーカーの人気のある選択肢です。この機械は、従来のシステムよりも大きな基板を扱うことができる高度な設計を備えています。その洗練されたフットステップ機構は、最大14インチの基板に対応でき、フットプリントは2インチの小型です。また、XY方向で3 μ m&5。6 μ mまで高解像度を提供することもできます。TEL Mark Vフォトレジストツールは、高解像度の高周波UVレーザーを使用して、フォトレジストを基板に完全に露出させる強力なレーザースキャン資産を備えています。レーザーモデルには、露光プロセス中に発生した熱からレーザーを保護する赤外線ケージが含まれています。レーザー装置はまたフォトレジストの均一な沈着を保障するのを助けます。このシステムには、露光プロセス中に基板を冷却する冷却塔も装備されています。これは、被曝結果が悪くなる可能性がある基板の反りや燃焼を防ぐのに役立ちます。冷却塔は露出プロセスの均一性を助ける。TOKYO ELECTRON MARK-Vフォトレジストユニットには、さまざまな環境条件下で最適な結果を得るために、露出パラメータを自動的に調整するオートフォーカス装置を装備することができます。この機能は、手作業での作業が少なく、一貫性のある結果が得られるため、メーカーにとって非常に便利です。このアセットには、洗練された画像処理ソフトウェアを実行するオンボードコンピュータも搭載されています。このソフトウェアを使用すると、モデルは製造プロセスのエラーを自動的に識別して修正し、製品の品質を向上させることができます。コンピュータはまた、分析のために露出プロセスからデータを収集し、製造業者がプロセスをさらに改善できるようにします。結論として、Mark Vフォトレジスト装置は、さまざまなICを製造するための洗練された信頼性の高いソリューションです。その高度なデザイン、強力なレーザーシステム、革新的な機能は、メーカーの人気のある選択肢になります。精密な解像度と高速スループットにより、優れた生産品質を提供します。オートフォーカス機能、冷却塔、画像処理ソフトウェアは、非常にユーザーフレンドリーなユニットです。