中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9290142 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、半導体製造および関連加工アプリケーション向けに設計された高性能で高精度なウェーハ加工ツールです。それはそれを非常に信頼でき、堅牢にさせる独特な自動車級の設計を特色にします。TEL Mark Vは、フォトレジストコーティングの温度と成膜パラメータを正確に制御することで、安定した高品質な成膜を実現しています。TOKYO ELECTRON MARK-Vは、スピンオンガラスコーティング、リソグラフィー、エッチングなど、様々な工程に使用できます。このシステムは、ウェットエッチングモジュール、メータリングユニット、フォトレジストソース、電気接触ユニット、サーマルステーション、制御ユニットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。ウェットエッチングモジュールには、デュアルモジュレーティングウェハハウジングを備えたプロセスチャンバーと、ウェハプリエッチング用の加熱水浴を備えています。これにより、均一なウェットエッチングと優れた温度制御が保証されます。メータリングユニットは、フォトレジスト源に正しい量の材料を供給し、正確で一貫したウェーハコーティングを可能にします。フォトレジスト源は、ウェーハ上にフォトレジストを高速・精密・均一に蒸着できる真空ユニットです。電気接触ユニットは、工程チャンバ外の工具からの電気接続を可能にし、常に監視して正確なプロセス制御を行うことができます。熱ステーションはプロセスチャンバーの温度を調整し、正確で再現性のある結果を保証します。最後に、制御ユニットは完全なプロセスの自動化を可能にし、ユーザーは制御ユニットからリモートでプロセスを監視および制御することができます。MARK-Vは、高速かつ効率的なウェーハ処理を可能にする先進的な機械です。これは、確実かつ一貫して動作するように設計されており、優れた解像度、精度、再現性、および結果を提供します。これにより、信頼性が高く効率的なフォトレジストツールをお探しのあらゆる組織に最適です。